Зеленоград — живой памятник нашей победы

К началу 70-х годов, за неполных два десятилетия развития, микроэлектроника перешла к этапу создания больших интегральных схем — БИС, содержащих более 1000 элементов на одном кристалле. Она стала основной базой создания всех радиотехнических систем в стране. Еще в апреле 1965 г. Минрадиопром издал приказ, в котором говорилось об обязательном применении ИС начиная с 1966 г. во всех новых разработках, где это только возможно. Подобные приказы были изданы и в ряде других министерств. Начиная с этого времени заявки на разработку большого числа разнообразных ИС подавали НИИ и КБ всех министерств. Каждый год число заявок увеличивалось. Так, осенью 1971 г. в Научном центре было рассмотрено около 1000 предложений на разработку новых ИС, а возможности по созданию новых изделий не превышали 20% от числа заказов. Нужно было искать выход из тупиковой ситуации.

Анализ показал, что часто заказы на разработку ИС от предприятий одного ведомства, занимающихся созданием близкой по задачам аппаратуры, сильно отличались. Основой для них служили «традиции построения аппаратуры на предприятии», вкусы разработчиков, образцы зарубежной техники. Военные представители твердо отстаивали позиции своих подопечных фирм.

Только скрупулезная работа специалистов предприятий, ЦБПИМС, сотрудников ДНЦ, часто с выездами в заказывающие организации для ознакомления с замыслами главных конструкторов, деталями разработки, имеющимися образцами отечественной и зарубежной техники, позволили разрубить этот гордиев узел, не допустить безудержного роста номенклатуры ИС и избежать «тирании количества», что было не под силу нашей промышленности.

На этом этапе удалось сформулировать общий подход к параметрическим рядам ИС, которые вбирали в себя все основные схемотехнические решения, присущие данному классу ИС и технологии их изготовления. Это постепенно устроило всех. Большую роль в достижении общего согласия сыграли руководители ЦНИИ-22 и головные организации Министерства обороны, курирующие эти проблемы. Руководители этих организаций — опытные генералы Балашов В. П., Покровский Р. П., Сугробов П. И., Ча-ловский Е. Я. и руководимые ими офицеры поддержали предложения Научного центра.

Первым и показательным примером решения этих проблем подобным образом было рассмотрение задач и разработка необходимой и достаточной номенклатуры параметрических рядов ИС, подлежащих разработке и массовому производству, обеспечивающих создание перспективных вычислительных комплексов: «Эльбрус» — главный конструктор Бурцев В. С, ЕС ЭВМ — главный конструктор Ларионов А. М., а затем Пржиялковский В. В., СМ ЭВМ — главный конструктор Наумов Б. Н.

Соглашение было достигнуто непросто, но оно позволило немедленно приступить к реализации этих решений на предприятиях МЭП. Позднее опыт полностью подтвердил правильность такого подхода.

Головной организацией по разработке ИС, созданию базовых технологий на новые серии ИС стал НИИМЭ и завод «Микрон». К этой работе были подключены: Минский завод полупроводниковых приборов, будущий ПО «Интеграл» — директор Гойденко П. П., ленинградское объединение «Светлана» — генеральный директор Каминский И. И., вильнюсское КБ, позднее НИИ «Вента» — директор Занявичус Д., кишиневский завод «Мезон» — директор B.C. Никулин, тбилисский НИИИ «Мион» — директор Чиковани Р. И., бакинское КБ и завод «Азон» — директор Гарибов М., фрязинский завод «Электронприбор» — директор Колмогоров Г. Д.

Возник вопрос — зачем столько предприятий? Ответ был простой — разрабатывалось несколько наращиваемых рядов схем (в каждом из которых было не менее 50 типов ИС) по нескольким технологиям, обеспечивающим либо очень высокое быстродействие и большую потребляемую мощность на каждую схему, либо невысокое быстродействие и маленькую мощность. Были необходимы и схемы, обладающие средними параметрами. Этим задачам соответствовали разрабатываемые серии ИС 500, 100, 700, серии 155, 530, 531, 555 и некоторые другие. Прообразом для ряда быстродействующих схем серии 500 была взята серия американской фирмы Motorola, а для других серий — фирмы США Texas Instruments и др.

На примере реализации этих параметрических рядов ИС для вычислительной техники была начата разработка основ построения рядов ИС для радиосвязи, операционных усилителей, запоминающих устройств и многих других изделий электроники, но это заняло довольно много времени у головных предприятий, ДНЦ, технического управления МЭП и генерального заказчика.

Предварительно была решена задача разработки научно-технических основ построения комплексно-целевых программ (КЦП), которые включали в себя не только создание параметрического ряда, но и разработку базовой технологии, необходимого состава и единиц оборудования, нужных материалов, оснастки, системы параметров и т. д.

В основу разработки КЦП, как правило, при ограниченных финансовых и временных ресурсах, был положен анализ состояния и прогноз развития данного направления в стране и за рубежом, анализ заявок потребителей, необходимое обеспечение, научные и производственные мощности, инфраструктура, т. е. все необходимое для проведения работы. Сейчас это называется бизнес-планом. Фактически к 1974 г. отрасль микроэлектроники уже работала по главным направлениям своего развития, используя КЦП. Совмещение системы приборных КЦП с обеспечивающими программами (материалы, технологии, оборудование, корпуса и т. д.) позволило просчитывать затраты, мощности предприятий, подготовку новых площадей и уверенно прогнозировать объемы выпуска различных ИС, исходя из потребностей страны.

В конце 1973 г. в печати появились сообщения о создании первых микропроцессоров — больших интегральных схем, которые выполняли функции пока простейших вычислительных устройств. Было понятно, что это начало нового витка микроэлектроники, вычислительной техники и приборостроения. В 1974 г. при ДНЦ под руководством Васенкова А. А. была создана рабочая группа в составе ведущих специалистов (схемотехников, системотехников, технологов) НИИМЭ, НИИТТ, СВЦ, НИИМВ, НИИТМ, которая приступила к выработке общих взглядов на разработку отечественных микропроцессоров и подготовке технических заданий на работы по их реализации на предприятиях Научного центра. Группа собиралась еженедельно на протяжении полутора лет, обсуждая все вопросы, которые необходимо было решить на пути к намеченной цели — созданию отечественного микропроцессора. В ее состав входили:

• от СВЦ — Нестеров П. В., Чичерин Ю. Е., Воробьев Н. М., Дшхунян В. Л., Меркулов В. А., Малашевич Б. М., Петров В. Н.; от НИИТТ — Баранов В. С, Иванов Э. Е., Кузнецов Е. И., Колобков Г. В., Минкин Л. К., Можаров Л. М., Платонов Ю. А., Рыженков В. И., Филиппенко В. О.;
• от НИИМЭ — Контарев В. Я., Гусаков В. М., Березенко А. И., Трушин В. В., Орлов Б. В.;
• от НИИТМ — Богородицкий Л. А., Попель Л. М.;
• от ДНЦ — Терехов Ю. В., Козидубов В. П., Кундин В. А., Трифонов В. И.

Продвижением работы в этом направлении постоянно интересовались руководители всех предприятий, понимая значимость этой проблемы, и помогали осуществлять намеченные планы. Особенно следует отметить Юдицкого Д. И., под руководством которого была разработана идеология построения микропроцессоров и микроЭВМ будущей серии «Электроника-НЦ».

В разработках БИС микропроцессоров были воплощены передовые принципы развития таких устройств, предложена микропроцессорная

вычислительная система с повышенной производительностью, гибкой, перестраиваемой системой команд и расширенными функциональными возможностями. Предложенные решения нашли воплощение в сериях микропроцессоров, разработанных в НИИТТ и НИИМЭ. В сентябре 1975 года в пионерлагере НИИТТ и завода «Ангстрем» «Гайдаровец» была проведена первая в СССР межотраслевая конференция по микропроцессорам, на которой собрались разработчики микропроцессоров и РЭА. Были доложены первые полученные результаты, идеология построения микропроцессоров в стране, задачи и возможности по созданию ЭВМ, заслушаны выступления разработчиков аппаратуры, их взгляды и требования. В результате были согласованы основные этапы дальнейшего развития этого направления и созданы основы для подготовки программы работ. Программа «Микропроцессор» была в значительной степени ориентирована на наиболее продвинутые направления: бортовые ЭВМ для авиации, ракетостроения, судостроения, станки с программным управлением, управление технологическим оборудованием.

В конце 1975 г. министрами МЭП и МРП Шокиным А. И. и Плешаковым П. С. был подписан совместный приказ о разработке и применении микропроцессоров в важнейшей аппаратуре.

С 1976 г. началось интенсивное использование микропроцессоров и других сложных интегральных схем в разработках важнейших наземных комплексов и бортовых систем: ракетно-космических, на спутниках серии «Космос», противоракетной системе С-300, в авиации — для самолетов, разрабатываемых в КБ Микояна, Сухого, Туполева, Яковлева, аппаратуре военно-морского флота, радиолокационных системах. Увеличение объема задач, решаемых аппаратурой, рост ее сложности, потребовали разработки аппаратурно-ориентированных программ (АОП) — создания именно тех ИС, которые были необходимы для разработки данной системы. Удалось подготовить и начать осуществлять такую АОП к концу 1978 года. Она позволила построить большинство основных типов средств вычислительной техники, начиная от высокопроизводительных ЭВМ вплоть до бортовых ЭВМ и микроЭВМ приблизительно на 700 типах различных простых и сложных интегральных схем. В основу АОП была положена система развивающихся серий ИС и БИС, согласованная со всеми министерствами, предприятия которых разрабатывали радиоэлектронную аппаратуру, и Министерством обороны. Проект системы комплексно-целевых программ и аппаратурно-ориентированных программ был представлен в ЦК КПСС и в Совмин СССР в 1979 г. До этого на Совете Министров СССР руководством Научного центра неоднократно докладывались комплексно-целевые программы «Память», «Логика», «Микропроцессор», общие проблемы по созданию больших интегральных схем. Так, в 1977 г. докладывалась программа по созданию полупроводниковых ЗУ. В это время завод «Ангстрем» выпускал БИС ОЗУ 4 килобита (кристалл содержал около 20 ООО транзисторов), которая была эквивалентна по своим функциональным возможностям двум платам размером 50×50 см, содержащим несколько тысяч ферритовых колец и 250 гибридных ИС «Посол». Когда это было продемонстрировано заместителю Председателя СМ СССР Смирнову Л. В., министрам и военным специалистам на заседании ВПК, то вместо выделенных на вопрос 15 минут обсуждение продолжалось почти 2 часа, были приняты важные решения по поддержке развития микроэлектроники. Это был большой успех Научного центра и Министерства электронной промышленности.

За 9 лет, прошедших со дня основания Научного центра, было сделано много, и правительство высоко оценило вклад Зеленограда в развитие передовой отрасли страны. За трудовые успехи, достигнутые в деле создания отечественной микроэлектроники, Указом Президиума Верховного Совета СССР от 18 января 1971 г. Центр микроэлектроники награжден орденом Ленина. Многие сотрудники НИИ и заводов Научного центра были отмечены правительственными наградами. В 1969 г. Государственные премии были присуждены коллективам сотрудников НИИТТ за создание технологии гибридных схем и НИИТМ за разработку напылительных установок, в 1972 г. группе специалистов НИИТМ за разработку линии «Корунд», НИИМЭ за разработку и производство ИС, в 1975 г. НИИМЭ за создание системы автоматизированного проектирования (САПР). Особо следует отметить присуждение Ленинской премии в 1974 г. признанным лидерам, руководителям предприятий и города: Валиеву К. А. (НИИМЭ), Гуськову Г. Я. (НИИМП), Ливинцеву Л. Н. (первому секретарю РК КПСС), Малинину А. Ю. (НИИМВ), Савину В. В. (НИИТМ), внесшим большой вклад в создание Научного центра, формирование и развитие науки и промышленности Зеленограда. Звание Героя Социалистического Труда было присвоено В. С. Сергееву, рабочим Л. И. Андрееву, Н. И. Вялых. Позднее этой высокой и почетной награды были удостоены Яковлев А. Т., Иванов Э. Е.

Микроэлектроника развивалась быстрыми темпами. Интересно напомнить этапы, которые прошли наука и промышленность за это время.

Это хорошо видно из таблицы: «Итоги VIII и IX пятилеток и задачи на X пятилетку в области разработки и производства БИС», в которой в сжатой форме представлены решенные задачи и те, которые надлежало решить в 1976-1980 гг.

Несмотря на впечатляющие успехи развития науки и производства в Зеленограде, итоги IX пятилетки показали, что Научный центр развивается все же недостаточно эффективно: ощущался большой дефицит производственных мощностей, опытные заводы зеленоградских НИИ не могли «переварить» в заданном темпе новые разработки. Они захлебывались от освоения, выпуска и поставки на важнейшие оборонные заказы новых ИС и БИС. Всего «Ангстрем» и «Микрон» выпустили в 1975 г. 18 млн ИС, половину из них с военной приемкой. Кроме того, ИС, разработанные в НИИМЭ и НИИТТ, осваивались и выпускались на заводе «Азон» в Баку (директор Гарибов М.), «Мион» в Тбилиси (директор Чиковани Р. И.), КБПМ в Москве (директор Амельчаков Н. П.), «Вента» в Вильнюсе (директор Климашаускас К.), «Нуклон» в г. Шауляе (директор Баранаускас В.), «Экситон» в г. Павловском Посаде (директор Еремеевский Н.), «Мезон» в г. Кишиневе (директор Никулин B.C.), «Билур» в г. Кировобаде (директор Абдуллаев К.). Освоение новых схем шло сложно, темпы работы, принятые в Зеленограде, часто были не под силу серийным заводам, возникали конфликты, так как заказчики требовали все больше и больше ИС и высокого качества. Так, освоенные на заводе «Мезон» ИС «Микроватт» из-за недостаточной надежности заказчик отказался ставить в аппаратуру. По требованию Военно-промышленной комиссии при СМ СССР было принято решение о возвращении снятой с производства на заводе «Микрон» схемы и возобновлении военных поставок с завода, что привело к большим осложнениям в работе предприятия.

К этому времени объем выпуска продукции по 2ГУ МЭП составлял уже около 40% от общего объема выпуска министерства, что создавало определенные сложности для устойчивости работы всего министерства, порождало «неуправляемость» ряда предприятий, особенно удаленных от Москвы. А ведь заводы и НИИ были расположены во всех республиках СССР и по всей огромной территории РСФСР. Руководство министерства приняло решение выделить из состава 2ГУ МЭП Научный центр, придав ему ряд серийных заводов, НИИ и КБ, расположенных в пяти республиках, создав мощное Научно-производственное объединение. Это произошло в июле 1976 г. Генеральным директором НПО «Научный центр» был назначен молодой, но уже опытный директор НИИ материаловедения, д. т. н., профессор, член-корреспондент АН СССР А. Ю. Малинин, его заместителями стали Васенков А. А., Пивоваров А. В., Сливков Ю. А., Шишков А. П., Бочкарев В. Г., Огородник В. Г., Еремин К. Т., Емельяненко В. К., Боган В. И.

В состав объединения вошли: 8 НИИ, 7 ОКБ, 9 опытных заводов, 8 серийных заводов, 4 филиала заводов, а также Центральная автобаза Научного центра, дирекция строящихся предприятий и ремонтно-строительное управление — всего 39 предприятий, в том числе с правом юридического лица 31 предприятие. В объединении работало более 70 тысяч человек, половина из них — в Зеленограде. Создание объединения давало новые возможности, но значительно увеличивало обязанности. В своем выступлении на конференции в Зеленограде Шокин А. И. сформулировал задачи объединения: «Центр должен заниматься концентрацией сил, специализацией, кооперированием, объединять научные силы и мощности, определять главные удары и на них собирать силы… Большая перспектива лежит в объединении науки с производством, сокращении сроков разработки, освоении САПР, продвижении в направлении создания структуры «институт — завод»».

Исходя из поставленных перед объединением задач, Научный центр направил усилия на создание новых изделий, начиная с разработки новых материалов, перехода на кремниевые пластины диаметром 75-100 и 125 мм, повышения их качества, разработки и выпуска нового поколения автоматизированного оборудования (вакуумно-напылительного, плазменного, диффузионного, контрольно-измерительного), больших интегральных схем памяти, микропроцессоров, микроэлектронной бытовой аппаратуры (часов, калькуляторов, магнитофонов) и сложнейшей микроэлектронной космической и связной аппаратуры, создаваемой в том числе на новых технологических принципах изготовления (бескорпусные ИС на полиамидном носителе) в НИИМП и заводе «Компонент».

В 1976 г. отрасль выпустила почти 300 млн ИС, из них более 85% полупроводниковых ИС, в том числе в Научном центре 71 млн штук, причем уровень интеграции по объединению был значительно выше отраслевого, а на «Ангстреме» достиг 20 000 транзисторов на кристалле. Были переданы в торговую сеть 51 тысяча магнитофонов (завод «Элион»), 32 тысячи калькуляторов (завод «Ангстрем»). В этом же году были утверждены методики формирования планов НИОКР комплексно-целевых программ и их ведения по всему жизненному циклу разработка — производство, т. е. создана система управления наукой и производством. Практически уже с 1971 г. формирование плана НИОКР по направлению микроэлектроники в МЭП ежегодно осуществлялось дирекцией Научного центра, а затем докладывалось на Коллегии министерства. Теперь, после утверждения методик, на Научный центр возложили управление основными программами: Микропроцессор, Память, Логика, Операция, Коммутатор, Радиосвязь.

Конечно, в реализации всех этих планов и программ основную роль играли предприятия, расположенные в Зеленограде. Так, НИИМЭ и завод «Микрон» играли основную роль в стране в разработке и организации массового выпуска цифровых интегральных схем, быстродействующих запоминающих устройств и схем для их управления, специальных усилителей, микропроцессоров. Технология, технологические карты на процессы, методы проектирования, контроль качества распространялись на родственные предприятия отрасли. НИИ и завод несли ответственность за уровень и качество продукции на «подшефных» предприятиях объединения — там, где выпускались ИС по документации головного предприятия. Активно работал на предприятии отдел внедрения. «Микрон» отвечал за объемы и выполнение поставок высоконадежных ИС на важнейшие радиоэлектронные системы. Работать на предприятии было сложно, но интересно. Директор предприятия, к тому времени уже член-корреспондент Академии наук СССР, Валиев К. А. был душой коллектива. Главный инженер Назарьян А. Р. — великолепный технолог и организатор, директор завода Розенблит И. А. — опытный, умелый руководитель. Они создали работоспособную команду, обладающую мощным научным потенциалом, умением решать технические и организационные проблемы. Здесь выросли Дьяков Ю. Н., Райнов Ю. А., Горнев Е. С, Просий А. Д., Самсонов Н. С, Голубев А. П. и многие другие. За период со дня основания предприятия более 400 сотрудников были награждены правительственными наградами, 35 стали лауреатами Государственных премий (1972 г., 1973 г., 1975 г., 1983 г., 1986 г., 1987 г.).

Трудная, но интересная история у НИИТТ и завода «Ангстрем». Созданный как институт, ответственный за разработку технологии микроэлектроники, его коллектив во главе с технологом «от бога» Сергеевым В. С. и умелым организатором и разработчиком аппаратуры — главным инженером Катманом А. К. не могли пройти мимо создания первых ИС и активно развернули сначала разработку гибридных схем, где прошли путь от первых толстопленочных схем «Тропа» до больших гибридных ИС на керамической подложке. Накопленный опыт позволил разрабатывать и выпускать корпуса для ИС, а позднее многослойные керамические платы для специализированных ЭВМ. Здесь огромную роль сыграло руководство завода «Ангстрем» и ведущие специалисты-лидеры: директор Демин В. П., главный инженер Бенуа Э. Ф., Обходов В. А., Филипенко В. О., Ржанов В. Г., Иванов Э. Е., Рыженков В. И., Баранов В. С. и многие другие. В начале 1974 г. НИИ и завод разработали и освоили новую перспективную технологию КМОП и включились в создание калькуляторов, БИС запоминающих устройств, микропроцессоров, а затем и микроЭВМ. В разработках БИС основную роль играли Яковлев А. Т., Шаталин С. М., Соломонен-ко В. И., Чистилин А. А., Гудков В. М, Васильковский А. П., Силантьев П. П. В разработке микропроцессоров и микроЭВМ огромную роль сыграла перешедшая в 1976 г. в НИИТТ часть коллектива СВЦ, в состав которого входили Воробьев Н. М., Чичерин Ю. Е., Трояновский В. М., Дшхунян В. Л., Попов А. А. и другие, которые потом заявили о себе в полный голос своими научными и производственными успехами. По итогам пятилетки 1971-1975 гг. 156 человек с предприятия были награждены правительственными наградами.

НИИМП, возглавляемый талантливым разработчиком микроэлектронной аппаратуры и организатором, Героем Социалистического Труда, членом-корреспондентом АН СССР Г. Я. Гуськовым, создавал уникальную аппаратуру в микроэлектронном исполнении, выполненную по оригинальной технологии, которая потом была освоена на ряде предприятий нескольких оборонных министерств. На предприятии был создан ряд технологических линеек, уникальная испытательная и измерительная база, разработаны радиомаяки, бортовая телеметрическая аппаратура, бортовые ЭВМ для разных поколений космической аппаратуры, системы спутниковой связи. СКБ при НИИМП разрабатывало специальную малогабаритную аппаратуру. Директор вместе с главным инженером М. Ф. Поликановым, опытными руководителями Гальпериным Н. М., Сидоровым Е. М. уделял огромное значение воспитанию кадров. В НИИ и на заводе «Компонент» выросли А. А. Киселев, Ю. Б. Степанов, В. С. Серегин, А. И. Головин, В. Н. Филатов, С. Н. Николаенко, К. В. Былов, Е. Н. Егоров, Н. М. Синод-кин, В. П. Лаврищев, В. И. Шимко, А. А. Ермолаев и многие другие. Владея передовой технологией, высококвалифицированными специалистами, НИИМП и завод «Компонент» постоянно привлекали внимание аппарату-ростроителей всей оборонной промышленности, служили для многих предприятий эталоном в создании надежной и самой малогабаритной аппаратуры. Следует отметить большую работу в развитии направления разработки сверхминиатюрной аппаратуры специального назначения, проделанную коллективом отдела НИИМП, а затем предприятия «Радэл» (директор Ермолаев А. А.) На основе НИИМП и завода «Компонент» было создано объединение «Элас», которое заняло ведущее положение в нашей стране в разработке космической техники и техники связи.

Особую роль во внешнем мире играло Центральное бюро применения интегральных микросхем (ЦБПИМС), позднее ЦКБ «Дейтон», задачами которого было наведение «порядка» в применении ИС в аппаратуростро-ении, проведение технической политики в области стандартизации требований к надежности и качеству, основным электрическим параметрам, устойчивости изделий при климатических и механических нагрузках, рассмотрение случаев отказов аппаратуры и ИС. На предприятиях создавались руководящие материалы по применению (РМ) и контролю правильности применения, велась база данных по ИС, аппаратуре, отказам.

ЦКБ «Дейтон» играло важную роль как при подготовке технических заданий на разработку новых ИС, так и новой аппаратуры на их основе. Фундамент этого предприятия был заложен бывшими сотрудниками КБ-1 — директором Б. В. Тарабриным и главным инженером С. В. Якубовским, заместителем главного инженера Н. А. Баркановым. Они воспитали на своем предприятии плеяду классных специалистов, сыграли огромную роль в установлении взаимопонимания между разработчиками и производителями ИС, с одной стороны, и разработчиками аппаратуры и военными заказчиками (Минобороны) — с другой.

Важную и часто определяющую роль в процессе получения новых результатов в отрасли и в Научном центре играли НИИ и заводы, которые работали на микроэлектронику, создавая научный задел, материалы, оборудование. К этой группе предприятий прежде всего относятся НИИМВ и завод «Элма», НИИТМ и завод «Элион» и НИИФП.

Понятно, что НИИМВ и завод «Элма» — основные разработчики и изготовители материалов для микроэлектроники, полупроводниковых приборов, оптоэлектроники, лазеров, приборов ИК техники. Были организованы разработка и опытное производство для обеспечения создания новых ИС, разнообразных электронных приборов и выработки основных требований к материалам и технологии их получения. К ним относились монокристаллический кремний с возрастающим диаметром пластин (75, 100,125,150 мм), монокристаллы фосфида галлия, арсенида галлия, сапфира, галлий-гадолиниевого граната, монокристаллические ленты сапфира, различные пасты, высококачественные вещества и газовые смеси на их основе, заготовки для фотошаблонов. Перечисленные разработки служили основой для ускорения организации промышленного выпуска этих материалов в Минцветмете, Минхимпроме, Минлегпроме, Минстанкопроме и других ведомствах.

А. Ю. Малинин как крупный ученый и организатор науки и производства, лидер по своей природе, сумел собрать вокруг себя очень интересный и боевой коллектив, в котором выделялись будущие руководители и ученые: Кузнецов Ю. Н., Федоров В. А., Прилипко В. И., Грибов Б. Г., Петров С. В., Гарба Л. С, Логинов И. А., Райнов Ю. А., Бейдин В. Е., Журавлев Г. И., Крикоров В. С, Немирюк Ю. Г., Абдуллин Н. А., Коробов И. В., Марин К. Г., Сидоров А. И., Хряпов В. Т., Блецкан Н. И., Иванютин Л. А., Бочкарев В. Г., Горбачев Л. А., Ильин Ю. М., Гигин А. В. и другие.

Важнейшую роль в разработке технологического оборудования и особенно комплексных автоматизированных линий, разнообразных установок играли НИИТМ и завод «Элион». С 1965 г. НИИТМ возглавлял крупный инженер, ученый, организатор Савин В. В. Конечно, один институт и его завод не могли решить проблему всего комплекса технологического, контрольного и измерительного, испытательного оборудования для производства ИС по разнообразным технологиям. Только в одном базовом процессе производства БИС ОЗУ 4 К использовалось 109 типов основного оборудования и 210 типов вспомогательного. Естественно, НИИТМ отвечал только за определенную ему часть. К ней относились следующие типы оборудования: диффузионное, напылительное, плазменное, эпитаксиального наращивания, окислительное, ионно-химическое, магнетронного распыления, функционального контроля логических схем, БИС ЗУ и сборочное оборудование. Это были очень крупные и серьезные задачи, причем сроки разработки оборудования и его опытная эксплуатация должны были опережать начало производства ИС. Разработчики оборудования, как правило, были обречены на постоянное «опаздывание» и вызывали лавину критики на себя. Коллектив НИИТМ и завода «Элион» был крепким, работоспособным и очень гибким. Это позволяло быстро решать множество больших и мелких проблем, без которых не обходится ни одно производство. В НИИ и на заводе трудились прекрасные руководители и специалисты: Блинов И. Г., Хачатурьян П. Е., Крикун В. М., Матюшенков И. Ф., Язов М. Г., Калмыков Е. С, Иванов В. И., Гревцев Н. В., Сатаров Г. X., Уксусов А. С, Богородицкий Л. А., Попель Л., Сорокин А. М., Лобиков Л. В., Васильев В. А., Браун Л. Ю., Завьялов А. С, Быковский И. П., Фомин Г. А.

Специфическую роль среди зеленоградских научных предприятий играл НИИ физических проблем, задачей которого был поиск, исследование и разработка образцов изделий микроэлектроники, поиск новых направлений ее развития.

Становление и формирование НИИ протекало динамично в ходе решес ния постоянно возникающих актуальных новых проблем микроэлектроники. В результате за 30 лет существования института теоретиками, физиками-экспериментаторами, биологами, специалистами по различным видам технологии, схемотехниками и конструкторами выполнены обширные исследования и множество разработок: были созданы оригинальные электронные приборы, структуры, технологические процессы, заложены научные основы ряда перспективных направлений. В НИИ впервые разработаны и переданы в другие НИИ, КБ, заводы, жидкокристаллические индикаторы, приборы с зарядовой связью (ПЗС), ЗУ на цилиндрических магнитных доменах (ЦМД), интегральные приборы на соединениях А3В5, А2В6 (приборы для обнаружения, быстродействующие ИС на арсениде галлия, высокоэффективные светодиоды), полупроводниковые лазеры, приборы на основе джозефсоновских переходов, сквиды, автоэмиссионные катоды, энергонезависимые запоминающие устройства. Заложены основы создания изделий на базе субмикронной технологии, нанотехнологии, молекулярной технологии, вакуумной микроэлектроники, микромеханики, использования синхротронного излучения для аналитики, прецизионного эксперимента, биосовместимых покрытий и решения задач физики твердого тела. Близко к завершению создание в НИИФП специализированного синхротронного центра «Зеленоград», который, по мнению зарубежных экспертов, является одним из лучших в мире, так как полностью отвечает требованиям современной прецизионной технологии, что придаст научно-технологическому комплексу города дополнительные возможности научно-исследовательского центра мирового уровня. Собирали и возглавляли в разное время этот уникальный коллектив (как его называл Шокин А. И. — «академию наук МЭП») директора Стафеев В. И., Лаврищев В. П., Васенков А. А., Самсонов Н. С. Главными инженерами были Юдицкий Д. И., Борисов Б. С, Мазуренко С. Н., замдиректора по науке Сретенский В. Н. В институте выросли и прошли школу крупные ученые нашей страны: Сурис Р. А., Ахмедиев Н. Н., Звездин А. К., Кирова Н. Н. Рыжий В. И., Елионский В. М., Попков А. Ф., Гергель В. А., Полторацкий Э. А., Емельянов А. В., Рычков Г. С, Никитин А. В., талантливые разработчики-изобретатели Махов В, И., Банников В. С, Петров А. А., Корсаков В. С, Быков В. А., Тишин Ю. И., Боков Ю. С, Мишачев В. И., Трутнев Н. Ф., Шокин А. Н., Ракитин В. В., Кустов В. Л., Матвеев В. М., Безручко С. М., Саунин А. С, Свидзинский К. К., Седунов Б. И., Нагин А. П., Хафизов Р. 3. и многие другие.

В НИИФП подготовлено несколько десятков докторов наук, более 200 кандидатов, ежегодно публиковалось большое число научных статей, готовятся студенты на базовых кафедрах в МИЭТ и МФТИ. Постановлением СМ РСФСР от 19 мая 1983 г. НИИФП присвоено имя Лукина Ф. В., а в 1994 г. предприятию присвоен статус Государственного научного центра Российской Федерации.

Необходимо отметить, что НИИФП стал местом рождения еще одного предприятия — специализированного вычислительного центра — СВЦ.

В 1964 г. в НИИФП собралась группа специалистов — приверженцев непозиционной системы счисления или, как еще называли это направление развития вычислительной тематики, системы остаточных классов. Лидерами этого направления были член-корреспондент АН КазССР Акушс-кий И. Я., Юдицкий Д. И., Амербаев В. М., Большаков И. А. Созданное ими в институте подразделение — вычислительный центр — в 1969 г. выделился в самостоятельное предприятие, в котором собрались талантливые ученые и специалисты, смело продвигающие новое направление: они начали разработку большой высокопроизводительной ЭВМ с параллельной системой вычислений. Эту работу не удалось осуществить по ряду не зависящих от разработчиков причин, однако были созданы несколько типов мини-ЭВМ серии «Электроника-НЦ», которые были поставлены и долгое время работали в Центре коммутации сообщений, в Пулковском аэропорту г. Ленинграда. В СВЦ родилась идеология отечественной системы микропроцессоров и микроЭВМ, идеи мажорирования и много других научно-технических новаций. Кроме упомянутых выше сотрудников, необходимо отметить большой вклад в развитие вычислительной техники в Научном центре Нестерова П. В., Бутузова В. С, Коекина А. И., Сокола Ю. М., Чичерина Ю. Е., Дшхуняна В. Л., Воробьева Н. И., Попова А. А., многие из которых потом работали в НИИТТ и НИИ НЦ и других предприятиях над проблемами конструирования конкурентоспособной аппаратуры и достигли больших успехов.